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发明名称 NOVEL SULFONIUM SALT AND CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR100246709(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19950001702 申请日期 1995.01.28
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 WATANABE, SATOSHI;OOSAWA, YOICHI;ISHIHARA, TOSHINOBU;MARUYAMA, KAZUMASA;TAKEDA, YOSHIFUMI;SIMADA, JUNJI;YAKIHASHI, FUJIO;TAKEMURA, KATSUYA
分类号 G03F7/004;C07C309/06;C07C309/30;C07C333/20;C07C381/12;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C07C333/20 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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