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发明名称 VACUUM APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PROCESS CHAMBER
摘要
申请公布号 KR100249308(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19960053550 申请日期 1996.11.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, SU-BONG
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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