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发明名称 Elektrostatisch-magnetische Linsenanordnung
摘要
申请公布号 DE69606515(D1) 申请公布日期 2000.03.09
申请号 DE19966006515 申请日期 1996.07.03
申请人 ACT ADVANCED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER TESTSYSTEMENTWICKLUNG MBH 发明人 UEDA, KOSHI;IWAI, TOSHIMICHI;SCHOENECKER, DR.;FROSIEN, DR.;FEUERBAUM, DR.
分类号 H01J37/145;(IPC1-7):H01J37/145 主分类号 H01J37/145
代理机构 代理人
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