| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100243361(B1) |
申请公布日期 |
2000.03.02 |
| 申请号 |
KR19970003623 |
申请日期 |
1997.02.05 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
NAKAO, SHUJI |
| 分类号 |
G03F9/00;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/3205;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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