发明名称 Berührungssignalführer
摘要 Berührungssignalfühler mit einem Fühlerhalter, einem Schwingteil, das durch den Fühlerhalter gehalten wird und an einem entfernten Ende einen Kontaktteil zum Kontaktieren eines Werkstücks aufweist, einer Schwingungseinrichtung, um das Schwingteil in der Achsenrichtung in eine Resonanzschwingung zu versetzen, und einer Detektoreinrichtung, um den Kontakt durch eine Änderung in der Schwingung des Schwingteils festzustellen, die durch den Kontakt mit dem Werkstück verursacht wird. Das Schwingteil wird durch den Fühlerhalter an zwei Haltepunkten gehalten, zwischen welchen ein Schwingungsknoten des Schwingteils liegt. Da die Schwingungseinrichtung und die Detektoreinrichtung derart angeordnet sind, daß sie sich über den Haltepunkten erstrecken, kann der Schwingungsknoten zwischen den Haltepunkten gebildet werden und kann die Größe des Berührungssignalfühlers einfach verkleinert werden.
申请公布号 DE19936560(A1) 申请公布日期 2000.03.02
申请号 DE19991036560 申请日期 1999.08.04
申请人 MITUTOYO CORP., KAWASAKI 发明人 NISHIMURA, KUNITOSHI;HIDAKA, KAZUHIKO;NISHIOKI, NOBUHISA
分类号 G01B7/00;G01B7/012;G01B21/00;H01L21/66;H01L41/09;(IPC1-7):G01B7/012;G01B7/34 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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