发明名称 Magnetron sputtering apparatus with auxiliary magnetic pole
摘要
申请公布号 GB2340845(A) 申请公布日期 2000.03.01
申请号 GB19990019361 申请日期 1999.08.16
申请人 KABUSHIKI KAISHA * KOBE SEIKO SHO 发明人 KOICHIRO * AKARI;TOSHIMITSU * KOHARA
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
地址