发明名称 |
Magnetron sputtering apparatus with auxiliary magnetic pole |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2340845(A) |
申请公布日期 |
2000.03.01 |
申请号 |
GB19990019361 |
申请日期 |
1999.08.16 |
申请人 |
KABUSHIKI KAISHA * KOBE SEIKO SHO |
发明人 |
KOICHIRO * AKARI;TOSHIMITSU * KOHARA |
分类号 |
H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
H01J37/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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