| 发明名称 |
PROCEDE DE POLISSAGE CHIMIO-MECANIQUE UTILISANT DES SUSPENSIONS A FAIBLE PH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2772986(B1) |
申请公布日期 |
2000.02.11 |
| 申请号 |
FR19970016332 |
申请日期 |
1997.12.23 |
| 申请人 |
UNITED MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
YANG MING SHENG;WU JUAN YUAN;LUR WATER;SUN SHIH WEI |
| 分类号 |
H01L21/304;C09K3/14;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/461 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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