用于半导体制程之流体输送管的连接装置

摘要

本发明系提供一种用于半导体制程之流体输送管的连接装置，该连接装置包含有一圆柱形接头，一软质环垫以及一固定环。该圆柱形接头的外壁上依序设有一第一螺纹、一平滑之环形壁及一第二螺纹。该固定环包含有一内设有螺纹之圆孔及一近似圆锥形之斜面设于该圆孔之一侧。于安装该连接装置时，该固定环会先被套装于该圆柱形接头之第一螺纹，该固定环圆孔一侧之圆锥形斜面会与该圆柱形接头之环形壁形成一环形凹槽，其后该软质环垫会被套装于该圆柱形接头之环形壁上，最后该连接装置之第二螺纹会被套装于该流体输送管管口内之螺纹上。此时该流体输送管管口会将该软环垫挤入该圆柱形接头上之环形凹槽内，使流经该流体输送管以及该圆柱形接头间之流体不会经由该流体输送管之管口及该圆柱形接头之圆柱形外壁间之缝隙流出。

主权项

1.一种连接装置,用来连接一半导体制程之流体输送管,该流体输送管包含有一内设有螺纹之管口,该连接装置包含有:一圆柱形接头,其圆柱形外壁之上依序设有一第一螺纹及一第二螺纹,该第一及第二螺纹之间设有一平滑之环形壁;一软质环垫;以及一固定环,其包含有一内设有螺纹之圆孔,该圆孔之一侧设有一近似圆锥形之斜面;其中于安装该连接装置时,该固定环会先被套装于该圆柱形接头之第一螺纹,该固定环圆孔一侧之圆锥形斜面会与该圆柱形接头之环形壁形成一环形凹槽,其后该软质环垫会被套装于该圆柱形接头之环形壁上,最后该连接装置之第二螺纹会被套装于该流体输送管管口内之螺纹上,此时该流体输送管管口会将该软质环垫挤入该圆柱形接头上之环形凹槽内以使流经该流体输送管以及该圆柱形接头间之流体不会经由该流体输送管之管口及该圆柱形接头之圆柱形外壁间之缝隙流出。2.如申请专利范围第1项之连接装置,其中该软质环垫系为一横截面为圆形之橡皮环。图式简单说明:第一图为习知连接装置连接于流体输送管之示意图。第二图为第一图所示之连接装置沿切线2-2之剖面示意图。第三图为本发明连接装置之组成元件图。第四图为第三图连接装置连接流体输送管之剖面示意图。