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发明名称 MICROWAVE PLASMA GENERATION DEVICE
摘要
申请公布号 KR100242332(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19950033946 申请日期 1995.09.30
申请人 HITACHI LTD. 发明人 ICHIMURA, SATOSHI;SATO, TADASHI;IGA, TAKASHI;NATSUI, KENCHI
分类号 H01J27/18;H01J37/08;H01J37/32;(IPC1-7):H01J27/18 主分类号 H01J27/18
代理机构 代理人
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