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发明名称 VACUUM SYSTEM OF ION IMPLATING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100242948(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19960047487 申请日期 1996.10.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 CHO, SHIN-HYUN;OK, KYUNG-HA
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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