发明名称
摘要
申请公布号 JP3003796(B2) 申请公布日期 2000.01.31
申请号 JP19970009933 申请日期 1997.01.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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