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发明名称
摘要
申请公布号
JP3003796(B2)
申请公布日期
2000.01.31
申请号
JP19970009933
申请日期
1997.01.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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