发明名称 Partial semiconductor wafer processing
摘要
申请公布号 SG70036(A1) 申请公布日期 2000.01.25
申请号 SG19970003832 申请日期 1997.10.22
申请人 TEXAS INSTRUMENTS SINGAPORE (PTE) LTD. 发明人 BALAMURUGAN SUBRAMANIAM;WONG CHIE-KEONG;KENT RUSSELL ALLAN
分类号 H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
地址