DIRECT VAPOR DELIVERY OF ENABLING CHEMICAL FOR ENHANCED HF ETCH PROCESS PERFORMANCE,申请号EP19980909196-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	DIRECT VAPOR DELIVERY OF ENABLING CHEMICAL FOR ENHANCED HF ETCH PROCESS PERFORMANCE
摘要
申请公布号	EP0972302(A1)	申请公布日期	2000.01.19
申请号	EP19980909196	申请日期	1998.03.17
申请人	FSI INTERNATIONAL	发明人	FAYFIELD, ROBERT, T.;HEITZINGER, JOHN, M.
分类号	H01L21/302;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

METHOD AND APPRATUS FOR SYNCHRONIZING BETWEEN NODES IN WIRELESS NETWORK

Fluorescerende prober til dna detektion ved hybridisering med forbedret følsomhed og lav baggrund

System for individuel tilpasning af hørehjælpsanordninger

METHOD AND APPARATUS FOR IMPROVING QUALITY OF IMAGE AND RECORDING MEDIUM THEREOF

SYSTEMS, METHODS, AND MEDIA FOR PROVIDING INTERACTIVE REFOCUSING IN IMAGES

MÅLINGSFREMGANGSMÅDE TIL TÆLLING AF LEVEDYGTIGE BAKTERIECELLER, OG DYRKNINGSMEDIUM

Mølle til findeling af malegods

RYGESTOPSUGETABLET, SOM INDEHOLDER TOBAKSALKALOID OG SØLVSALT

Cykel og fastgører

Multipel interaktiv elektronisk programguidesystem og fremgangsmåder

Spåntagende værktøj med minimalmængdesmøring (MMS)

HYDROXYSULFONAT AF QUINONFORBINDELSER OG DERES ANVENDELSER

Fremgangsmåde og indretning til varmebehandling indbefattende fremgangsmåde og indretning til udskillelse eller sortering af en ladning.

NY FORMULERING TIL AT FORØGE BIOTILGÆNGELIGHEDEN AF NEURTURIN

FREMGANGSMÅDE TIL FJERNELSE AF SVOVLDIOXID FRA EN RØGGASSTRØM

COATET STENT MED GEOMETRI-BESTEMT FUNKTIONALITET OG FREMGANGSMÅDE TIL FREMSTILLING HERAF

Lift support with multiple outriggers