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发明名称 Menetelmä metalliohutkalvojen kasvattamiseksi
摘要
申请公布号 FI20000099(A0) 申请公布日期 2000.01.18
申请号 FI20000000099 申请日期 2000.01.18
申请人 ASM MICROCHEMISTRY LTD,, 发明人 ELERS,,KAI-ERIK;SAANILA,ANTERO,VILLE;KAIPIO,JOHANNA,SARI;SOININEN,JUHA,PEKKA
分类号 C23C16/08;C23C16/18;C23C16/44;(IPC1-7):C23C 主分类号 C23C16/08
代理机构 代理人
主权项
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