| 发明名称 |
CHEMICAL RETRIEVAL DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER'S NITRIDE LAYER REMOVAL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100237625(B1) |
申请公布日期 |
2000.01.15 |
| 申请号 |
KR19960055615 |
申请日期 |
1996.11.20 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
KIM, KI HYUN |
| 分类号 |
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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