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发明名称
SPIN COATING DEVICE
摘要
申请公布号
KR100239751(B1)
申请公布日期
2000.01.15
申请号
KR19960062462
申请日期
1996.12.06
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
JO, YONG-JIN;JONG, YU-CHOL;GIL, SONG-JIN;KIM, DONG-HYON
分类号
H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312
主分类号
H01L21/312
代理机构
代理人
主权项
地址
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