发明名称 COPOLYMER FOR PHOTORESIST AND MATRIX RESIN
摘要
申请公布号 KR100240824(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19970066093 申请日期 1997.12.05
申请人 SAMSUNG GENERAL CHEMICALS CO.,LTD 发明人 LEE, SANG-KYUN;MOON, SUNG-YOON;MOON, SUNG-YOON;KOO, JA-SUN;KIM, CHUL-HEE
分类号 G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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