发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100238872(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19970021218 申请日期 1997.05.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 YOON, GI-CHANG
分类号 H01L21/334;(IPC1-7):H01L21/334 主分类号 H01L21/334
代理机构 代理人
主权项
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