| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG DREIDIMENSIONALER STRUKTUREN IM SUBMIKROMETERBEREICH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59603862(D1) |
申请公布日期 |
2000.01.13 |
| 申请号 |
DE19965003862 |
申请日期 |
1996.03.06 |
| 申请人 |
WEBER, HEINZ PAUL |
发明人 |
WEBER, HEINZ;HODEL, WALTER;ROMANO, VALERIO |
| 分类号 |
G01B9/04;G01B9/023;G01B11/24;G01B11/245;G01N21/27;G01N21/45;G02B21/18;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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