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Gegenstand der Erfindung sind ein Verfahren zum dynamischen Scannen zum Messen von Punkten auf Materialoberflächen nach dem Autofokusprinzip sowie ein Koordinatenmessgerät. In einem relativ zur Materialoberfläche beweglich angeordneten Tastkopf (10) befindet sich eine Optik (16), die einen Abbildungsstrahlengang mit zwei unterschiedlich langen optischen Wegen aufweist, an deren Enden jeweils Kontrastwerte gemessen werden, wobei der Tastkopf (10) so in seinem Abstand gegenüber der Materialoberfläche (14) eingestellt wird, dass die Konstrastwerte gleich sind. Aus der Position des Tastkopfs (10) gegenüber der Materialoberfläche (14) wird deren Profil bestimmt.
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