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发明名称
摘要
申请公布号
FR2062802(A5)
申请公布日期
1971.06.25
申请号
FR19700035244
申请日期
1970.09.29
申请人
MOTOROLA INC
发明人
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B44D5/00;H01L7/00
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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