| 摘要 |
<p>기판 상에 배열된 복수의 x방향 배선, 상기 x방향 배선을 교차하는 복수의 y방향 배선, 상기 x 및 y방향 배선을 전기적으로 절연하기 위한 절연층, 및 각각이 상기 x 및 y방향 배선에 전기적으로 접속되고 갭을 갖는 복수의 도전막으로 구성된 전자원의 제조 방법이, 상기 복수의 x 및 y방향 배선에 접속될 복수의 도전막을 형성하는 도전막 형성 단계; 상기 x방향 배선을 복수의 그룹으로 지정하기 위한 그룹핑 단계; 및 동일한 그룹에 지정된 모든 배선들에 전압을 동시에 인가하는 단계를, 상기 모든 그룹들에 대해 순차적으로 수행하여 상기 도전막에 갭을 형성하는 통전 포밍 단계를 포함한다. 상기 그룹핑 단계는 복수의 배선들을 각각의 그룹에 지정하고, 다른 그룹들을 구성하는 배선들 사이에 하나의 그룹을 구성하는 배선들을 배열시키는 단계를 포함한다.</p> |
