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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11354459(A)
申请公布日期
1999.12.24
申请号
JP19980164586
申请日期
1998.06.12
申请人
SONY CORP
发明人
KOGA TOMOHIRO
分类号
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
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