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Verfahren zur Bestimmung des Abstandes P einer Kante eines zu den Koordinatenachsen (x, y) eines Substrats nicht-orthogonalen Strukturelementes (16). Das Strukturelement (16) wird auf ein Detektorarray (13) einer CCD-Kamera abgebildet, das einen Bezugspunkt (14) aufweist. Mit Hilfe eines unter einem Winkel THETA zum Koordinatensystem gedrehten Messfensters (17) wird der Abstand PIPC einer Kante des Strukturelementes (16) relativ zum Bezugspunkt (14) bestimmt. Der Abstand L des Bezugspunktes (14) relativ zum Ursprung des Koordinatensystems wird über den Winkel THETA und die aktuellen Messtischkoordinaten x, y bestimmt, so dass der Abstand P angegeben wird durch P = PIPC + L, wobei L = x•cos THETA y•sin THETA ist. |
