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发明名称 ARTICLE STORAGE CABINET FOR CLEEN ROOM
摘要
申请公布号 KR100236272(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19930000636 申请日期 1993.01.20
申请人 SHINKO ELECTRIC CO., LTD. 发明人 KAWANO, HITORI;OKUNO, ATSUSHI;TSUTAMA, SANORI;HAYASHI, MITHIRO;YAMASHITA, TEPAI;MURATA, SANAO;TANAKA, TSUYOI;MORITA, TEKUYA;NAKAMURA, AKIKO
分类号 B65G1/00;B65G1/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G1/02 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
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