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经营范围
发明名称
HEATER CONDITION MONITORING DEVICE FOR PHOTO RESIST STRIP APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100234544(B1)
申请公布日期
1999.12.15
申请号
KR19970010931
申请日期
1997.03.27
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
YUN, CHUNG-BONG;KWAK, DONG-WON;LEE, HO-YOUNG
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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