发明名称 PICK-UP APPARATUS AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR CHIPS
摘要
申请公布号 KR100235929(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19960019289 申请日期 1996.05.31
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 HONDA, MOTOHAROO
分类号 H01L21/66;H01L21/00;H01L21/52;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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