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经营范围
发明名称 SILICA TUBE OF LPCVD
摘要
申请公布号 KR100234686(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19920002272 申请日期 1992.02.15
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, SUNG-HOON;HWANG, CHANG-HWAN
分类号 H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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