| 发明名称 |
METHOD FOR MEASUREMENT OF ELECTRON DENSITY IN SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11337490(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19980141279 |
申请日期 |
1998.05.22 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HIUGA FUMIAKI;FURUTA TOMOSHI;ARAKI YOSHIYUKI |
| 分类号 |
G01J3/44;G01N21/65;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/65 |
主分类号 |
G01J3/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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