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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11340234(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980149198 申请日期 1998.05.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KAMATA YASUYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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