发明名称 MULTILAYER PIEZOELECTRIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH11340536(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980143210 申请日期 1998.05.25
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAHASHI TOSHINORI;KAGAMI KEIICHI
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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