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发明名称 Terpolymers containing organosilicon side chains and their use for the production of relief structures
摘要
申请公布号 EP0758102(B1) 申请公布日期 1999.12.08
申请号 EP19960305465 申请日期 1996.07.25
申请人 ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. 发明人 SCHAEDELI, ULRICH;TINGUELY, ERIC;HOFMANN, MANFRED;FALCIGNO, PASQUALE ALFRED;MERTESDORF, CARL-LORENZ
分类号 G03F7/039;C08F16/16;C08F16/38;C08F20/26;C08F30/08;C08F216/16;C08F216/38;C08F220/04;C08F220/06;C08F220/30;C08F220/42;C08F220/44;C08F230/08;C09D129/00;C09D129/10;C09D129/14;C09D133/04;C09D133/06;C09D137/00;C09D143/04;G03F7/004;G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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