| 发明名称 |
A magnetron for low pressure, full face erosion |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0801415(B1) |
申请公布日期 |
1999.12.08 |
| 申请号 |
EP19970104017 |
申请日期 |
1997.03.11 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
TEPMAN, AVI;VAN GOGH, JIM |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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