| 发明名称 |
Verfahren zur Bildung eines leitfähigen Stopfens in einer Isolierschicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4301451(C2) |
申请公布日期 |
1999.12.02 |
| 申请号 |
DE19934301451 |
申请日期 |
1993.01.20 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
YU, CHRIS C.;DOAN, TRUNG T. |
| 分类号 |
B24B7/22;C23F3/00;H01L21/28;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/285;H01L21/316 |
主分类号 |
B24B7/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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