METHODS AND APPARATUS FOR INTEGRATING OPTICAL AND INTERFEROMETRIC LITHOGRAPHY TO PRODUCE COMPLEX PATTERNS,申请号EP19980904595-传众专利搜索

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发明名称	METHODS AND APPARATUS FOR INTEGRATING OPTICAL AND INTERFEROMETRIC LITHOGRAPHY TO PRODUCE COMPLEX PATTERNS
摘要
申请公布号	EP0960356(A1)	申请公布日期	1999.12.01
申请号	EP19980904595	申请日期	1998.01.21
申请人	THE UNIVERSITY OF NEW MEXICO	发明人	BRUECK, S., R., J.;CHEN, XIAOLAN;FRAUENGLASS, ANDREW;ZAIDI, SALEEM, H.
分类号	G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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