发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR LASER AND THE LIKE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11330611(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
申请号 |
JP19980126138 |
申请日期 |
1998.05.08 |
申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
UENO NORIKO;TAGUCHI AYUMI;NARUI HIRONOBU;OKANO NOBUMASA |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/304;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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