发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR LASER AND THE LIKE
摘要
申请公布号 JPH11330611(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980126138 申请日期 1998.05.08
申请人 SONY CORP 发明人 UENO NORIKO;TAGUCHI AYUMI;NARUI HIRONOBU;OKANO NOBUMASA
分类号 H01L21/306;H01L21/304;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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