发明名称
摘要
申请公布号 JP2983495(B2) 申请公布日期 1999.11.29
申请号 JP19970144488 申请日期 1997.05.20
申请人 KAIJOO KK 发明人 OOSAWA TADAYASU;KUBO KAZUKI
分类号 B08B3/00;F26B21/14;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/00
代理机构 代理人
主权项
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