| 摘要 |
<p>본 발명은 과산화수소를 포함하고 착화제(complexing agent)를 선택적으로 포함하여 온화한(mild) 조건하에서 페로브스카이트형 산화물 박막의 표면, 예를 들어 티탄산염 유전체 박막의 표면을 에칭하거나 세정(cleaning)하는 데 사용하는 에칭 용액을 제공한다. 또한, 본 발명은 이 에칭 용액을 사용하여 에칭하거나, 세정하거나 또는 페로브스카이트형 산화물 박막에 대한 도전성 재료의 부착력을 향상시키는 여러 가지 방법을 제공한다.</p> |
