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发明名称 HALBLEITER-WAFER TEST UND BURN-IN
摘要
申请公布号 DE69604810(D1) 申请公布日期 1999.11.25
申请号 DE19966004810 申请日期 1996.08.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 LEAS, JAMES;KOSS, ROBERT;VAN HORN, JODY;WALKER, GEORGE;PERRY, CHARLES;GARDELL, DAVID;DINGLE, STEVE;PRILIK, RONALD
分类号 G01R1/06;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/316 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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