发明名称 A tray transfer arm a tray transfer apparatus using the tray transfer arm an IC testing apparatus and a tray handling method
摘要 <p>본 발명은 트레이 교환시의 동작 행정을 감소시켜 처리량(through put)을 높이고자 하는 것이다. 이를 위해 본 발명은, 커스터머 트레이(KST)를 교환하기 위한 트레이 이송 암(205)이고, 한 쌍의 트레이 수납부(205a, 205b)가 상하의 방향으로 설치되어 이들을 서로 독립하여 상하의 방향에 대해서 이동시키는 유체압 실린더(36, 37)가 설치되어 있다.</p>
申请公布号 KR19990083190(A) 申请公布日期 1999.11.25
申请号 KR19990013160 申请日期 1999.04.14
申请人 가부시키가이샤 어드밴티스트 发明人 나카무라히로토
分类号 G01R31/26;B65G61/00;G01R31/01;G01R31/28;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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