发明名称 |
Fremgangsmåte ved fremstilling av en bearbeidet silicium mikrosensor |
摘要 |
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申请公布号 |
NO995731(D0) |
申请公布日期 |
1999.11.22 |
申请号 |
NO19990005731 |
申请日期 |
1999.11.22 |
申请人 |
SEXTANT AVIONIQUE |
发明人 |
LEFORT, OLIVIER;THOMAS, ISABELLE |
分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;G01P15/125;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
B81B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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