| 摘要 |
<p>Dünne Elektretschicht mit einer Schichtdicke von weniger als 200 νm aus fluorhaltigen Polymeren, wobei die mittlere Kettenlänge der Polymerketten, die in der durch Verdampfen, Sputtern, Ablation, Aufblasen oder Aufstreuen aus einem festen Ausgangsmaterial aus fluorhaltigen Polymeren hergestellten Schicht enthalten sind, zumindest die Hälfte der Kettenlänge im Ausgangsmaterial beträgt und der Vernetzungsgrad der in der Schicht enthaltenen Polymerketten höchstens das Doppelte des Vernetzungsgrades im Ausgangsmaterial beträgt; zur Herstellung einer solchen Elektretschicht wird eine Schicht aus fluorhaltigen Polymeren durch gepulste Laserdeposition auf einem Substrat aufgebracht, wobei die Wellenlänge der eingesetzten Laserstrahlung zwischen 100 nm und 20 νm liegt und die Pulslänge zwischen 10 fs und 1 ms beträgt.</p> |
