HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR SONDE MIT BESCHICHTETER SPITZE

摘要

Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung von magnetischen Sonden für den Einsatz bei der magnetischen Rasterkraftmikroskopie, die aus einer scharfen ferromagnetischen Spitze und aus einem elastisch biegsamen Hebelarm bestehen. Verfahrensgemäss wird eine ferromagnetische Schicht auf die Spitze aufgebracht. Anschliessend findet eine Elektronenstrahl-induzierte Abscheidung einer Schutzschicht auf der Spitze statt. Zuletzt wird die aufgedampfte, nicht mit Schutzschicht bedeckte ferromagnetische Schicht entfernt. Auf diese Weise kann eine Sonde mit ferromagnetisch beschichteter Spitze hergestellt werden, wobei die laterale Ausdehnung des ferromagnetisch beschichteten Bereiches 20 bis 100 nm beträgt.