发明名称
摘要
申请公布号 JP2978613(B2) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 JP19910294987 申请日期 1991.10.15
申请人 KYUSHU NIPPON DENKI KK 发明人 NISHIDA NORIAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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