| 摘要 |
<p>Bei einer Einrichtung und einem Verfahren zur Trennung eines geformten Substrates von einem Prägewerkzeug besteht die Aufgabe, die Entformung funktionssicher zu gestalten und eine Beschädigung kostenintensiver Bauelemente weitgehend auszuschließen. Eine verschließbare Kammer, deren gegeneinander verstellbare Kammerteile (1, 2) Träger des Prägewerkzeuges (3) bzw. des formbaren Substrates (5) sind, enthält einen Substrathalter (16), der das Substrat (5) bei geschlossener Kammer außerhalb des Prägebereiches an seinem Träger fixiert, wodurch beim Öffnen der Kammer eine Ablösung des Substrates (5) von dem Prägewerkzeug (3) erfolgt. Die Einrichtung und das Verfahren sind bei der Herstellung Mikrosystemtechnischer Bauelemente anwendbar.</p> |
