| 发明名称 |
STAGE DEVICE, METHOD FOR CONTROLLING STAGE, AND DEVICE AND METHOD FOR EXPOSURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11312643(A) |
申请公布日期 |
1999.11.09 |
| 申请号 |
JP19990058560 |
申请日期 |
1999.03.05 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
SAEKI KAZUAKI;BAUSAN YUAN;HENRI KWOK PAN CHAU |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;G05B19/416;G12B5/00;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
