发明名称 FIELD EFFECT TRANSISTOR, SEMICONDUCTOR SWITCH AND SEMICONDUCTOR PHASE SHIFTER
摘要
申请公布号 JPH11312790(A) 申请公布日期 1999.11.09
申请号 JP19980119692 申请日期 1998.04.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IYAMA YOSHITADA;MUROI KOICHI;SASAKI YOSHINOBU;TSUKAHARA YOSHIHIRO;TANIGUCHI EIJI;HIEDA MORISHIGE;SUEMATSU KENJI
分类号 H01L21/822;H01L21/338;H01L27/04;H01L27/095;H01L29/812;H01P1/15;H01P1/185;(IPC1-7):H01L27/095 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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