发明名称 WAFER CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11312657(A) 申请公布日期 1999.11.09
申请号 JP19980120400 申请日期 1998.04.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUKADA TETSUO;TOYODA YOSHIHIKO;MORI TAKESHI
分类号 B08B1/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
主权项
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