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发明名称
WAFER CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11312657(A)
申请公布日期
1999.11.09
申请号
JP19980120400
申请日期
1998.04.30
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
FUKADA TETSUO;TOYODA YOSHIHIKO;MORI TAKESHI
分类号
B08B1/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B1/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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