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发明名称
JET TYPE PLATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11312654(A)
申请公布日期
1999.11.09
申请号
JP19980119314
申请日期
1998.04.28
申请人
NEC KANSAI LTD
发明人
OKAJI SEIJI
分类号
C23C2/00;C25D5/08;H01L21/288;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/288
主分类号
C23C2/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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