发明名称 |
EVALUATION OF HEAT TREATMENT EQUIPMENT FOR SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11307607(A) |
申请公布日期 |
1999.11.05 |
申请号 |
JP19980109123 |
申请日期 |
1998.04.20 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HISAI AKIHIRO |
分类号 |
H01L21/66;H01L21/027;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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